光氧等離子廢氣凈化一體機利用光氧催化技術和等離子技術相結合，對工業VOCs廢氣和工業油煙進行協同凈化處理。具有效率高、成本低、耗能少、占地小，自重輕、無噪音、智能、節省人工等特點。
光氧等離子廢氣凈化一體機反應原理：
當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。
光氧等離子廢氣凈化一體機使用中的等離子體中的離子、電子、激發太原子、分子及自由基都是活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得，它們再進一步與污染物分子、離子反應，從而使污染物降解，尤其有利于難降解污染物的處理。
另外，由于離子和自由基氣體放電時一些高能激發粒子向下躍遷能產生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，會激發半導體內的電子，使電子從價帶躍遷導帶，形成具有很強的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。
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